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誘電体薄膜形成材

関連製品名

Pb(Zr,Ti)O3PZT(チタン酸ジルコン酸鉛)
(Pb,La)(Zr,Ti)O3PLZT(チタン酸ジルコン酸ランタン鉛)
Bi4Ti3O12(非鉛系のチタン酸ビスマス)
SrBi2(Nb,Ta)2O3(名称不明)

ゾルゲル液

ゾルゲル液

特長

当社は他社に先駆けて、ゾルゲル法、スパッタ法の各種成膜方法に応じた、高・強誘電体の薄膜材料を販売しています。
誘電体膜のあらゆる用途/成膜法に対応致します。

用途

  • SAWフィルタ
  • FeRAM
  • High-K
  • MEMS
  • コンデンサ
  • 各種センサなどの誘電体膜
  • メモリーのキャパシタ材料

FAQ

ゾルゲル液の薄膜形成方法を教えてください。
スピンコート法にて塗布。均一な膜厚が形成できます。
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