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パーティクル・ゲッター

XX00258PG

XX00258PG

XX00987表PG

XX00987表PG

XX00987裏PG

XX00987裏PG

XX03107PG

XX03107PG

特長

パーティクル・ゲッター(PG)とは特殊表面加工された銅板であり、従来の溶射加工の代替製品です。
PGを薄膜形成時に使用される装置内のパーツ表面に貼ることにより、下記①、②の効果が実証されております。

  • ①パーティクルコントロール(特殊表面加工によるパーティクルの吸着)
  • ②スパッタリング装置内パーツ表面を覆うことで、分解、洗浄などによる膜の剥離を抑制します(エンボス加工による付着膜の残留応力の緩和)

(メーカー:株式会社サンリック)

用途

  • パーツ表面からの付着膜の剥離抑制
  • パーツの長寿命化
  • 貴金属回収率のアップ
  • 生産スケジュールの安定
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