Loading

単結晶シリコンパーツ(ウェーハ、ターゲット、加工部品等)

シリコンウェーハ

シリコンウェーハ

特長

高品質な単結晶シリコンパーツを安定供給いたします。
試作、研究用など、少量のオーダーにも対応可能です。

1)研究・開発用、装置テスト・評価用ウェーハ

2インチ〜12インチまでの片面ミラーウェーハ、酸化膜付きウェーハなど、高品質のウェーハをご提供いたします。
お客様のご要望に合わせ、角形状ウェーハ、OF(オリエンテーションフラット)無し(丸)ウェーハ。
両面ミラー、両面エッチ、両面ラップなどの仕上げが可能です。
ウェーハ厚みは、100μm(4インチ)〜2,000μmの製造が可能です。

2)センサー・MEMS用ウェーハ

エッチングによる深堀加工を行うセンサー・MEMS用途として、正確な溝作製が可能な高精度ウェーハをご提供致します。

  • 面方位(切断角度)公差をより小さく
  • OF位置角度公差をより小さく
  • 厚み公差をより小さく
  • 平坦性をより高精度に

3)板材(ターゲット用など素材)

高精度・高純度・高温特性が求められるスパッタリング・ターゲット用、液晶製造装置をはじめ各種半導体関連の製造装置用
パーツとしてお客様のご要望に応じた形状、仕上げでご提供致します。

形状例

  • 形状:円形、角型
  • 面取り:R面取り、C面取り、糸面取り
  • 面仕上げ:ミラー面、エッチ面、ラップ面、研削面、スライス面

4)特殊加工品

各種製造装置の高純度材料パーツなどとして、お客様のご要望に応じた多様な形状加工と表面処理を行い、製品をご提供しております。

加工例

  • 雄、雌ねじ加工
  • 大、小リング加工
  • 円、角柱加工
  • 大、小穴あけ加工
  • ザグリ加工
  • スリット加工
円筒加工   リング加工
円筒加工 リング加工
ザグリ加工   ザグリ加工
ザグリ加工 ザグリ加工

用途

1)

  • 研究、開発用
  • 半導体装置テスト、評価用
  • レジスト、塗布剤評価用
  • 膜評価用基板

2)

  • 導波炉、センサーなど、MEMS加工用

3)

  • 液晶製造用
  • タッチパネル製造用

4)

  • 半導体製造装置用部品
  • ウェーハ搬送用トレー(ザグリ加工品)

FAQ

シリコンって何ですか?
英語でSilicon(ケイ素)といい地球上では、酸素の次多く存在する元素です。元素記号はSiです。
シリコンって何に使われているんですか?
太陽電池の原料や、パソコン、携帯電話、ゲーム機などに内蔵されている、半導体の原料として使われています。
製品についてのご相談はこちらから お問い合わせメールフォーム
ページの先頭へ戻る