Loading

Particle getter

자료

 

관련제품명

 

관련링크

 

용어

 

XX00258PG

XX00258PG

XX00987 앞면 PG

XX00987 앞면 PG

XX00987 뒷면 PG

XX00987 뒷면 PG

XX03107PG

XX03107PG

특징

Particle getter (PG)는 특수 표면 가공 된 동판으로, 기존의 용사(溶射)가공의 대체품 입니다.
PG를 박막 형성시에 사용되는 장비 내의 부품표면에 부착하는 것에 의해, 하기 (1), (2)의 효과가 실증되어 있습니다.

  • (1) Particle control (특수표면가공에 의한 Particle의 흡착)
  • (2) Sputtering 장치내 부품표면을 덮는 것으로, 분해, 세정 등에 의한 막의 박리를 억제합니다.(EMBOSS가공에 의한 부착막의 잔류응력의 완화)

(제조사: 주식회사 SUNRIC)

용도

  • 부품표면에서의 부착막의 박리 억제
  • 부품의 수명 증대
  • 귀금속 회수률 UP
  • 생산 일정의 안정
제품에 관한 문의 이메일로 문의
 
페이지의 맨 위로