シリコンパーツグループ製品案内掲載のお知らせ
2011年10月14日 お知らせ
このたび当社シリコンパーツグループの販売する、単結晶シリコンパーツ製品に関する製品案内を掲載いたしました。
当グループはISO9001を取得し、高品質な製品を安定供給いたします。
- 取り扱い製品
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- 1研究・開発、装置テスト・評価用ウエーハ
2インチ～12インチミラーウエーハ、酸化膜付ウエーハ等、標準仕様（貼付カタログをご参照ください）のほか、特殊仕様製品にも対応いたします。 - 2
センサー・MEMS用ウエーハ
エッチングによる深堀加工などに使用可能な高精度ウエーハを提供いたします。- 面方位（切断角度）公差をより小さく
- OF位置角度交差をより小さく
- 厚み公差をより小さく
- 平坦性をより高精度に
などのご要望にお応えいたします。
- 3板材（ターゲット等素材）
高精度・高純度・高温特性が求められるスパッタリングターゲット、各種製造装置用パーツとして、お客様のご要求に応じた形状・仕上げでご提供いたします。 - 4
その他 単結晶シリコンへの各種加工に対応いたします。
- 穴あけ加工
- リング加工
- 円、角柱加工
- 円筒加工
- ザグリ加工
- スリット加工
- 1研究・開発、装置テスト・評価用ウエーハ
単結晶シリコンの加工につきましては、何なりと当社シリコンパーツグループに御問い合わせください。
製品に関するお問い合わせ先