誘電体薄膜形成材
特長
当社はゾルゲル法、スパッタ法の各種成膜方法に応じた、高・強誘電体の薄膜材料を取り扱っております。誘電体膜のあらゆる用途/成膜法に対応致します。
用途
- SAWフィルタ
- FeRAM
- High-K
- MEMS
- コンデンサ
- 各種センサなどの誘電体膜
- メモリーのキャパシタ材料
製品仕様・概要
関連製品
- Pb(Zr,Ti)O3PZT（チタン酸ジルコン酸鉛）
- (Pb,La)(Zr,Ti)O3PLZT（チタン酸ジルコン酸ランタン鉛）
- Bi4Ti3O12（非鉛系のチタン酸ビスマス）
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