単結晶シリコンパーツ（ウェハ、ターゲット、加工部品等）
特長
高品質な単結晶シリコンパーツを安定供給いたします。
試作、研究用など、少量のオーダーにも対応可能です。
研究・開発用、装置テスト・評価用ウエーハ
- 2インチ～12インチまでの片面ミラーウエーハ、酸化膜付ウエーハなど、高品質のウエーハをご提供いたします。
- お役様のご要望に合わせ、角形状ウエーハ、OF（オリエンテーションフラット）無し（丸）ウエーハ、両面ミラー、両面エッチ、両面ラップなどの仕上げが可能です。
- ウエーハ厚みは、100μ（4インチ）～2,000μmの製造が可能です。
センサー・MEMS用ウエーハ
エッチングによる深堀加工を行う、センサー・MESM用途として、正確な溝作製が可能な高精度ウエーハをご提供します。
- 面方位（切断角度）公差をより小さく
- OF位置角度公差をより小さく
- 厚み公差をより小さく
- 平坦度をより高精度に
板材（ターゲット用など素材）
高精度・高純度・高温特性が求められるスパッタリング・ターゲット用、液晶製造装置をはじめ、各種半導体関連の製造装置用パーツとして、お客様のご要望に応じた形状、仕上げでご提供します。
形状例
- 形状：円形、角型
- 面取り：Ｒ面取り、C面取り、糸面取り
- 面仕上げ：ミラー面、エッチ面、ラップ面、研削面、スライス面
特殊加工品
各種製造装置の高純度材料パーツなどとして、お客様のご要望に応じた多様な形状加工と表面処理を行い、製品をご提供しております。
加工例
- 雄、雌ねじ加工
- 大、小リング加工
- 円、角柱加工
- 大、小穴あけ加工
- ザグリ加工
- スリット加工
用途
研究・開発用、装置テスト・評価用ウエーハ
- 研究、開発用
- 半導体装置テスト、評価用
- レジスト、塗布材評価用
- 膜評価用基板
センサー・MEMS用ウエーハ
- 導波路、センサーなど、MESM加工用
板材（ターゲット用など素材）
- 液晶製造用
- タッチパネル製造用
特殊加工品
- 半導体製造装置用部品
- ウエーハ運搬用トレー（ザグリ加工品）
資料ラインナップ
この製品に関するお問い合わせ
会社代表04-7124-3498
受付時間：
- 10:00～17:00（土日祝、当社休日は除く）