DLCの特長はどの様な点ですか？

水素フリータイプのDLC装置で、高硬度・高密着強度・高摺動性が大きな特徴です。
100℃以下での成膜が可能です。
容器内部等への成膜が可能です。

電子線・薄膜処理装置